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      產品中心

      Our suite of products and services include: Canister Liquid level sensor; PMS(Powder Moving System) Heater Jacket system; Ozone Monitor;

      超聲波多點式液位測量系統 PMS 其他


      為什么選擇PMS:

      · SEMI&FPD薄膜沉積工藝中,以高壓噴射HOT N2的方式幫助輸送管路內的副產物及未反應氣體,防止管道內堵塞的發生;
      · 稀釋: 利用惰性氣體稀釋,中和副產物,并延遲管道內粉塵的堆積;
      · 利用熱能: 加熱后的氮氣可以通過激活熱能促進副產物的分子活動,并防止粉塵的凝固;
      · 輸送: 采用專業的空氣動力學原理,通過高壓噴射HOT N2加速了副產物在管道內的流速,尤其提高了沉積高危區“管道壁面”上的產物流速;
      · 市場與需求:半導體與平板顯示行業FAB廠務,CVD、ETCH、ALD等沉積設備商,2000sets per year;
       
      PMS的使用效果:


      PMS的工作原理:


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